空气质量流量计

Warwick 创建于英国，是一家高速成长的科技公司，拥有自己的研发团队和核心技术，专注于广泛的高科技领域的应用，其中包括半导体、太阳能、平板显示、数据存储、玻璃镀膜等不同行业不同工艺 。Warwick的产品包括高质量的气体质量流量控制仪器及测量仪器、气体工艺解决方案和服务支持方案。Warwick始终致力于为客户开发“生产工艺优化和低成本化”的解决方案及相关产品，客户包括但不限于原始 设备制造商（DEM）和所需用户（END-USER）。

MC-AN600
Full Scale Range (N2 Eqv)
单气体2-5000sccm
Control Valve Type 阀门类型
常开式或常闭式螺线管 (NC or NO)
Fitting 接头
1/4 VCR or 1/4 Swagelok
Seals 密封
橡胶 Viton
Response Time 响应时间
到达设定点±2% 所需时间≤1Sec
Accuracy 精度
≤满量程1%
Linearity 线性度
≤ 满量程的±0.5%
Repeatability 重复性
≤ 满量程的±0.2%
Differential Pressure 压差

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空气质量流量计链接https://www.chem17.com/st274535/product_28393401.html

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